第三百零三章 表彰重奖

阳威力通过对讲机沟通,让一位名为柏巧玲的女工,送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆,廉安平教授亲自动手,将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上,然后按下操作面板上的启动按钮。光刻机内部传出细微的机械转动声音,一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部,在深色玻璃观察窗上,亮起一抹深邃的紫色光芒,开始对硅晶圆进行加工。

见状,刘焱出声询问道:

“这台光刻机使用的是哪种光源,是高压汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line,还是248nm的KrF(氟化氪)准分子激光作为光源?”

乌光辉回答道:

“现在使用的是高压汞灯产生的365nmi-line作为光刻光源,理论上,这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到0.35微米,作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。准分子激光光源,是下一代光刻机光源技术,咱们研发部已经立项开始研发,但这种技术在世界范围内,也是最前沿研发项目,开发难度非常高,不是短期内能攻克的。”

这台光刻机的加工速度还是很快的,即使是初次测试,柏巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内,全部完成了光刻加工。这些光滑如镜的硅晶圆上,多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜版,是晶圆工厂正在生产的ARM1芯片掩膜版,其复杂程度和尺寸大小,是晶圆工厂出产的所有芯片之最。

按照原本的计划,第一次光刻测试,应该选用最为简单的单片机芯片作为加工目标,这样一来,就可以从易到难,逐步查漏补缺,将光刻机修改完善。但廉安平教授和几个主要研发人员,对光刻机测试样机非常有信心,直接上了最大难度,也是需求量最大的ARM1芯片。

维创电子公司推出的第二代游戏掌机上市之后,立刻受到电玩爱好者的热捧,仅仅上市半个多月,就售出了300万台。

随机配送的《C级玛丽》和《G夫小子》两款游戏,在画面、音效、游戏可玩性上,碾压市面上的所有游戏。

游戏掌机热销,作为主控芯片的ARM1需求量大增,可是产品合格率始终徘徊在60%~70%之间,提升速度非常缓慢。

经过蒙小刚、廉安平教授以及几个相关领域的专家研究分析,认为ARM1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。