第180章 目标97.5%

看得杨铭有点儿不好意思了,于是,用手摸了摸嘴,检查一下早上吃早餐有没有什么残留到嘴角。

“刚才你们都说了两遍‘有信心’的,说说看,要怎么改善良率?”林国栋说道。

听到这话,压合课的那帮牲口差点笑出声来。

而曝光课的五个人都哭笑不得,怎么这么无耻的人都有呀?我们是说了“有信心”,可是,那不是你逼着我们说的吗?

一个个都不开口,卢青和王宇装作在想问题的样子。

其实,他们内心跟压合课差不多,曝光课的良率跟他们外围组长有毛的关系?

他们是怎么也想不到,这个时候林国栋朝他们开刀了。

只见林国栋说道:“王宇、卢青,说说你们有哪些改善方案。”

王宇和卢青愣住了,怎么问起我们了?我们两个就是管曝光前后处理的?这不一向都是无尘室的事吗?

卢青说道:“多测蚀刻出来的线宽、线距……增加清洁挡水轮的频率。”

林国栋没有说话,用下巴指了指王宇。

王宇急了,本来曝光前后处理就没什么可以改善的,两个要点被卢青说出来,这下他是真没什么可以说的了,支支吾吾说道:“嗯……暂时……没有别的可以……改善的方案。”

“每天的良率报表上都有很多残铜,依我看,这就是蚀刻机没有保养到位。每次问你们怎么改善,你们都是用一些‘加强’、‘增加’的词搪塞我,然而,这么久过去,也没见改善后的效果。从明天开始,你们每天这个时候都要报告残铜的数量。”林国栋说道。