多个光刻机研究机构并入无疆微电子公司也不是那么简单的,这最后涉及到很多东西,比如技术、设备、人才、工厂,价值多少,并入无疆微电子公司之后,国家占到多少股份……
赵烨为了获得更多的股份,随后又投入了2亿人民币。
现在到了2月底,无疆集团的收入大增,完全有足够的资本对无疆微电子公司追加投资。
很快,一套对所有人都能接受的方案出现了。
国家提供技术、设备、人才、工厂、土地、免税扶持政策,无疆集团投资6亿人民币,共同成立中国无疆微电子公司。
无疆集团占据60%,掌握公司主导权。
国家则甩来了包袱,让很多科研人员有了出路,而且光刻机的技术以及成果也不至于被荒废掉。
国内领导不是看不到半导体的现状,但此前无力去拯救。国家诸多领域都要花钱,实在是难以顾及到方方面面。
无疆集团既然能够站出来,扛起振兴国家半导体的重任,国家自然是顺水推舟。
可以说,无疆微电子公司的起点,一开始就是巨头,目前拥有一两千名科研人员,几乎收拢了国内所有光刻机的开发人员。
俗话说,鸡蛋不能放在一个篮子里。
无疆微电子公司的总部设在了上海,就位于上海光学机械厂。
另外一个原因则是,上海光学机械厂在光学镜和光源领域,技术先进。
光学镜片是高端光刻机的核心部件之一,高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力;光源则是高端光刻机另一核心部件,光源波长决定了光刻机的工艺能力。光刻机需要体积小、功率高而稳定的光源。
此外,上海光学机械厂的厂房占地面积比较大,有30公顷。
无疆微电子公司的总部确定好了之后,国家便把上海光学机械厂周边大量的土地也一并批给了无疆微电子公司,总面积达80公顷,今后主要用来建造无疆微电子实验室总部研发大楼,以及晶圆厂和其他半导体生产设备或生产材料。
目前,无疆微电子实验室总部研发大楼暂不着急建造,毕竟上海光学机械厂那么大,短时间内已经够用了。当务之急则是集中力量,改进BG-101步进式光刻机。与此同时,修建一座先进的晶圆厂。晶圆厂对生产环境的温度、湿度、洁净度、防微振等均有着严格的控制要求。这是上海光学机械厂原先所没有的,必须赶紧建造起来。
BG-101步进式光刻机的改进工作,想来用不了多长时间。
虽然一台光刻机的主要部件包含测量台与曝光台、激光器、光束矫正器、能量控制器等11个模块,但无疆微电子公司毕竟有一两千名科研人员,而且很多零部件,还可以从国内外采购,毕竟此时的北方大国还没有倒下,中国还不是西方国家的第一眼中钉,所以西方对中国的技术封锁还不是太严重,等到1996年的瓦森纳协定,西方国家对中国半导体技术及光刻机等设备的出口,都会有着极其严格的限制,一般都比最先进技术落后两三代,加上审批过程的拖延,中国能拿到设备技术永远是落后的。
BG-101步进式光刻机的改进工作和晶圆厂的修建需要同时进行,要不然光刻机改进好了,但晶圆厂却没建成,那不就耽误时间了吗?